Synthesis and Evaluation of Novel PAGs for ArF Lithography
Autor: | Fumiyuki Nishiyama, Tsukasa Yamanaka, Kenichiro Sato, Kunihiko Kodama, Tadayoshi Kokubo, Makoto Momota, Shinnichi Kanna, Shiro Tan, Yasumasa Kawabe, Hyou Takahashi |
---|---|
Rok vydání: | 2004 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Photopolymer Science and Technology. 17:501-509 |
ISSN: | 1349-6336 0914-9244 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |