Manufacturing of capacitive electrodes on Si-substrate for electrophysiological applications
Autor: | I. Enache, M. Cristea, Ion Rusu, Catalin Parvulescu, Elena Manea, J. Arhip, Cristian Ravariu, Florin Babarada |
---|---|
Rok vydání: | 2014 |
Předmět: | |
Zdroj: | 2014 International Semiconductor Conference (CAS). |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |