Thermal stability of rhombohedral α- and monoclinic β-Ga2O3 grown on sapphire by liquid-injection MOCVD
Autor: | Filip Gucmann, Peter Nádaždy, Kristína Hušeková, Edmund Dobročka, Juraj Priesol, Fridrich Egyenes, Alexander Šatka, Alica Rosová, Milan Ťapajna |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Předmět: | |
Zdroj: | Materials Science in Semiconductor Processing. 156:107289 |
ISSN: | 1369-8001 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |