Autor:	Satoru Kawazu
Rok vydání:	1996
Předmět:	Materials science Electrical and Electronic Engineering Semiconductor production Engineering physics
Zdroj:	IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems. 116:399-402
ISSN:	1348-8155 0385-4221
DOI:	10.1541/ieejeiss1987.116.4_399
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::590c9fd1277108494ac3dda266b3f779 https://doi.org/10.1541/ieejeiss1987.116.4_399 Zobrazit plný text záznamu