Thermal Atomic Layer Etching of Al2O3 Using Sequential HF and BCl3 Exposures: Evidence for Combined Ligand-Exchange and Conversion Mechanisms

Autor:	Austin M. Cano, Jonathan L. Partridge, Steven M. George
Rok vydání:	2022
Předmět:	General Chemical Engineering Materials Chemistry General Chemistry
Zdroj:	Chemistry of Materials. 34:6440-6449
ISSN:	1520-5002 0897-4756
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::58bbfd5fb79e7fead9b2e865eb1c0ef5 https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.2c01120 Zobrazit plný text záznamu