Low-Scatter Optical Thin Films by Bias RAS System

Autor:	Mitsuhiro Miyauchi, Sugawara Takuya
Rok vydání:	2020
Předmět:	Materials science business.industry General Engineering Optoelectronics Thin film business
Zdroj:	Journal of The Surface Finishing Society of Japan. 71:620-623
ISSN:	1884-3409 0915-1869
DOI:	10.4139/sfj.71.620
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::581fb329e34ab6f55a398abfdbeea057 https://doi.org/10.4139/sfj.71.620 Zobrazit plný text záznamu