Влияние потенциала смещения на структуру и распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных методом катодно-дугового осаждения
Autor: | E. B. Kashkarov, N. N. Nikitenkov, M. S. Syrtanov, A. N. Sutygina, D. V. Gvozdyakov |
---|---|
Rok vydání: | 2016 |
Předmět: | |
Zdroj: | Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. :81-85 |
ISSN: | 0207-3528 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |