Влияние потенциала смещения на структуру и распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных методом катодно-дугового осаждения

Autor: E. B. Kashkarov, N. N. Nikitenkov, M. S. Syrtanov, A. N. Sutygina, D. V. Gvozdyakov
Rok vydání: 2016
Předmět:
Zdroj: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. :81-85
ISSN: 0207-3528
Databáze: OpenAIRE