Reflective deep-ultraviolet Fourier ptychographic microscopy for nanoscale imaging

Autor:	Kwan Seob Park, Yoon Sung Bae, Sang-Soo Choi, Martin Y. Sohn
Rok vydání:	2023
Zdroj:	Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII.
DOI:	10.1117/12.2666132
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::56724a179b52ef5860dd2ea851803662 https://doi.org/10.1117/12.2666132 Zobrazit plný text záznamu