Effect of Growth Conditions on the Surface Morphology and Defect Density of CS‐PVT‐Grown 3C‐SiC
| Autor: | Manuel Kollmuss, Francesco La Via, Peter J. Wellmann |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Crystal Research and Technology. |
| ISSN: | 1521-4079 0232-1300 |
| DOI: | 10.1002/crat.202300034 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
Plný text