Hydrogen plasma enhanced oxide removal on GaSb planar and nanowire surfaces
Autor: | Yen-Po Liu, Sofie Yngman, Andrea Troian, Giulio D'Acunto, Adam Jönsson, Johannes Svensson, Anders Mikkelsen, Lars-Erik Wernersson, Rainer Timm |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Applied Surface Science. 593:153336 |
ISSN: | 0169-4332 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |