Toward CMOS-Compatible Triboelectric Generator to Operate MEMS

Autor:	Mohammad Alzgool, Mohammad Mousavi, Benyamin Davaji, Shahrzad Towfighian
Rok vydání:	2022
Zdroj:	2022 IEEE Sensors.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::55be2127d2b92a6626c44529906fb365 https://doi.org/10.1109/sensors52175.2022.9967076 Zobrazit plný text záznamu