Design and Fabrication of Cantilever MEMS Sensor Model for Electro-Chemical Gas Sensor

Autor:	Shwetha M. S, Guruprasad B
Rok vydání:	2020
Předmět:	Fabrication Cantilever Materials science business.industry Optoelectronics Mems sensors business
Zdroj:	International Journal of Engineering Research and.
ISSN:	2278-0181
DOI:	10.17577/ijertv9is070262
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::55bab7f73af40fc12daf71483074d6fd https://doi.org/10.17577/ijertv9is070262 Zobrazit plný text záznamu