HfO2:Y2O3 ultrathin nanolaminate structures grown by ALD: Bilayer thickness and annealing temperature effects on optical properties
Autor: | J. López - Medina, J. Vazquez – Arce, P. Pizá-Ruiz, N. Nedev, M.H. Farías, H. Tiznado |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Ceramics International. 48:17564-17575 |
ISSN: | 0272-8842 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |