Efficient ablation of silicon with high power GHz femtosecond laser source

Autor:	E. Mottay, G. Bonamis, K. Mishchik, J. Lopez, E. Audouard, C. Hönninger, I. Manek-Hönninger
Rok vydání:	2019
Zdroj:	Conference on Lasers and Electro-Optics.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::55042c2ca0f5f403d9fa555352ade2ce https://doi.org/10.1364/cleo_at.2019.atu3i.7 Zobrazit plný text záznamu