Growth of Highly Aluminum-Doped p-type 6H-SiC Single Crystals by the Modified Lely Method
Autor: | Norbert Schulze, Jürgen Gajowski, Gerhard Pensl, Michael Laube, Kurt Semmelroth |
---|---|
Rok vydání: | 2001 |
Předmět: | |
Zdroj: | Materials Science Forum. :45-48 |
ISSN: | 1662-9752 |
DOI: | 10.4028/www.scientific.net/msf.353-356.45 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |