Fabrication of 2D Layered Materials by Sputtering Deposition

Autor:	Atsushi Ogura, Naomi Sawamoto, Yuya Oyanagi, Kentaro Matsuura, Hitoshi Wakabayashi, Seiya Ishihara, Yusuke Hibino, Masaya Hamada, Takuro Sakamoto
Rok vydání:	2019
Předmět:	Materials science Fabrication Nanotechnology Sputter deposition
Zdroj:	Vacuum and Surface Science. 62:611-616
ISSN:	2433-5843 2433-5835
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::54aeccc0b2936f49afff995803fddfd2 https://doi.org/10.1380/vss.62.611 Zobrazit plný text záznamu