Cbr(contrast boosted resists) using halomethylaryl ketone as a base-labile water-repellent compound
Autor: | Kyoko Kojima, Toshihiko P. Tanaka, Shou-ichi Uchino, Sonoko Migitaka, Jiro Yamamoto, Takumi Ueno |
---|---|
Rok vydání: | 1995 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Photopolymer Science and Technology. 8:607-609 |
ISSN: | 1349-6336 0914-9244 |
DOI: | 10.2494/photopolymer.8.607 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |