Vapor-Phase Grafting of Functional Silanes to Al2O3, ZnO, and TiO2 Surfaces Prepared By Atomic Layer Deposition

Autor:	Vepa Rozyyev, Steven J. Sibener, Edward Barry, Jeffrey W. Elam, Anil U. Mane, Julia G. Murphy
Rok vydání:	2021
Předmět:	Atomic layer deposition chemistry.chemical_compound Materials science Silanes chemistry Chemical engineering Vapor phase Grafting
Zdroj:	ECS Meeting Abstracts. :881-881
ISSN:	2151-2043
DOI:	10.1149/ma2021-0229881mtgabs
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::53f15ddb1647bb28cd0ee6af344be175 https://doi.org/10.1149/ma2021-0229881mtgabs Zobrazit plný text záznamu