Investigation on exposure Mura in TFT process
Autor: | Zhi-lin Yang, Xin-xing Ma, Guo-yong Ma, Lian-feng Li, Yue Yu, Shuang-shuang Huang, Jian-hua Shen, Ping Chen, Zhao Hui, Wen Gao |
---|---|
Rok vydání: | 2021 |
Předmět: | |
Zdroj: | Chinese Journal of Liquid Crystal and Displays. 36:412-419 |
ISSN: | 1007-2780 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |