Neuartige TiAlN-Beschichtung mit spezieller Nanostruktur, abgeschieden mittels HR MT-CVD

Autor: J. Tod, Arno Köpf, Ronald WEIßENBACHER, Reinhard Pitonak, Jozef Keckes
Rok vydání: 2016
Předmět:
Zdroj: Keramische Zeitschrift. 68:111-116
ISSN: 2523-8949
0023-0561
Popis: In diesem Beitrag wird eine Titanaluminiumnitrid-Hartstoffschicht vorgestellt, die mittels thermischem CVD-Verfahren unter Verwendung des hoch reaktiven Stickstoff-Precursors Ammoniak abgeschieden wurde. Die Besonderheit dieser Hartstoffschicht besteht in ihrem speziellen nanolamellaren Aufbau. Des Weiteren wird gezeigt, dass durch Modifikation der Abscheidungsparameter gezielt Einfluss auf den Lagenabstand genommen werden kann, wodurch sich wichtige Eigenschaften der Schicht, wie zum Beispiel ihre Harte, entscheidend beeinflussen lassen. An Hand von Beispielen wird das Potenzial dieser Hartstoffbeschichtung im Bereich der Metallzerspanung aufgezeigt.
Databáze: OpenAIRE
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