Continuous-Wave Laser Annealing of a Si/SiO2 Superlattice: Effect of the Ambient Atmosphere and Exposure Period
Autor: | Marianna Kemell, Markku Räsänen, Esa Puukilainen, Mikko Ritala, Leonid Khriachtchev, Timur Nikitin, S. Novikov |
---|---|
Rok vydání: | 2014 |
Předmět: | |
Zdroj: | Science of Advanced Materials. 6:1000-1010 |
ISSN: | 1947-2943 1947-2935 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |