Autor:	Marjorie K. Balazs
Rok vydání:	1989
Předmět:	Materials science Semiconductor business.industry Solution chemistry Process engineering business
Zdroj:	Advances in Chemistry ISBN: 9780841214750 Microelectronics Processing: Chemical Engineering Aspects
DOI:	10.1021/ba-1989-0221.ch010
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::519ac3cddbd1e3a68d5d7e63cfcfa66a https://doi.org/10.1021/ba-1989-0221.ch010 Zobrazit plný text záznamu