Experimental study of a low-pressure hybrid RF discharge

Autor:	Vladimir Pavlov, Ilya Zadiriev, Elena Kralkina, P. A. Nekliudova, Chen Zhao, Konstantin Vavilin
Rok vydání:	2020
Předmět:	Materials science business.industry Optoelectronics Radio frequency Plasma Condensed Matter Physics business Rf discharge
Zdroj:	Plasma Science and Technology. 22:055405
ISSN:	1009-0630
DOI:	10.1088/2058-6272/ab69bd
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::50ce95e971c9bcb20169eacf7ea69576 https://doi.org/10.1088/2058-6272/ab69bd Zobrazit plný text záznamu