RESIDUAL STRESS IN A THIN-FILM MICROOPTOELECTROMECHANICAL (MOEMS) MEMBRANE

Autor:	Rolanas Dauksevicius, V. Grigaliūnas, Vytautas Ostasevicius, K. Malinauskas
Rok vydání:	2012
Předmět:	Physics Residual stress business.industry Structural engineering Composite material Condensed Matter Physics business
Zdroj:	Mechanika. 18
ISSN:	2029-6983 1392-1207
DOI:	10.5755/j01.mech.18.3.1880
Popis:	Gamybos metu atsirade liekamieji įtempiai gali turėti ypac didele reiksme MOEMS veikimui ir patikimumui. Galima drąsiai teigti, kad pavirsinio mikroformavimo būdu jokio prietaiso negalima pagaminti be liekamųjų įtempių. Dažniausiai MOEMS gamyboje pasitaikantys liekamieji įtempiai susidaro kaip tik dėl temperatūros pokycių, kurie atsiranda užgarinant plonus sluoksnius ant norimų bandinių esant aukstai temperatūrai ir kai naujos struktūros bandinys atvėsta iki kambario temperatūros. Siame straipsnyje pateikiama mikro membranos pavirsinio formavimo technologija. Taip pat yra aprasyta objekto principinė schema ir veikimo principas. Naudojantis Comsol Multiphysics modeliavimo įrankiu yra sumodeliuotos membranos, palyginti savieji dažniai esant temperatūros poveikiui, kuris atsiranda gamybos metu, ir jo nesant. Taip pat yra pateiktas galimas problemos sprendimas. DOI: http://dx.doi.org/10.5755/j01.mech.18.3.1880
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::50abd4d7e9a6326e37f0c8e4f93c5fc7 https://doi.org/10.5755/j01.mech.18.3.1880 Zobrazit plný text záznamu