A Method of Fabricating Electroplated Structures using Side-wall Electrical Contact

Autor:	Masatoshi Kanamaru, Yasuhiro Yoshimura, Yoshinori Nakayama, Takanori Aono
Rok vydání:	2014
Předmět:	Materials science Mechanical Engineering Electrical and Electronic Engineering
Zdroj:	IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 134:20-25
ISSN:	1347-5525 1341-8939
DOI:	10.1541/ieejsmas.134.20
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::508b24516683727340a8ebaf29b0dc18 https://doi.org/10.1541/ieejsmas.134.20 Zobrazit plný text záznamu