Autor:	K. A. Pandelisev, G H Schwuttke, R. C. White, K. Riedling
Rok vydání:	1987
Zdroj:	Mikroelektronik 87 ISBN: 9783211820230
DOI:	10.1007/978-3-7091-8940-5_13
Popis:	Ein an der Arizona State University entwickeltes digitales Prozeskontrollsystem fur eine Kristallziehanlage fur Verbin dungshalbleiter vereint konventionelle deterministische Techniken mit heuristischen Methoden, bei denen das System autark uber den Beginn neuer Prozesschritte oder die Modifikation von Prozesparametern entscheidet. Mit dieser Anlage konnten erstmals reproduzierbar GaAs-Einkristalle ohne wesentliche menschliche Eingriffe gezogen werden.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::50024e83b0dfa0ba3036e4b4f4e577b0 https://doi.org/10.1007/978-3-7091-8940-5_13 Zobrazit plný text záznamu