皮秒激光扫描硅材料微孔自成形行为及机理研究

Autor: 李鑫 Li Xin, 张彤 Zhang Tong, 季凌飞 Ji Lingfei, 张犁天 Zhang Litian
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Laser & Optoelectronics Progress. 59:0114005
ISSN: 1006-4125
DOI: 10.3788/lop202259.0114005
Databáze: OpenAIRE