皮秒激光扫描硅材料微孔自成形行为及机理研究
Autor: | 李鑫 Li Xin, 张彤 Zhang Tong, 季凌飞 Ji Lingfei, 张犁天 Zhang Litian |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Laser & Optoelectronics Progress. 59:0114005 |
ISSN: | 1006-4125 |
DOI: | 10.3788/lop202259.0114005 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |