Aberration Compensation Analysis of Active Deformable Lens in Lithographic Objective Lens

Autor:	东立剑 Dong Lijian, 赵磊 Zhao Lei, 张德福 Zhang Defu, 于新峰 Yu Xinfeng, 倪明阳 Ni Mingyang, 李显凌 Li Xianling
Rok vydání:	2015
Předmět:	Electrical and Electronic Engineering Atomic and Molecular Physics and Optics
Zdroj:	Laser & Optoelectronics Progress. 52:072203
ISSN:	1006-4125
DOI:	10.3788/lop52.072203
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4dfe1f8133bcb66e9e5163b2e73d7c88 https://doi.org/10.3788/lop52.072203 Zobrazit plný text záznamu