Detection Systems of Ultra-High-Resolution SEMs

Autor:	Jan Polster, Petr Sytaf, Jaroslav Jiruše, Miloslav Havelka, Jan Paral, Jolana Kološová
Rok vydání:	2018
Předmět:	010302 applied physics Materials science business.industry 0103 physical sciences Optoelectronics 02 engineering and technology 021001 nanoscience & nanotechnology 0210 nano-technology business Ultra high resolution 01 natural sciences Instrumentation
Zdroj:	Microscopy and Microanalysis. 24:606-607
ISSN:	1435-8115 1431-9276
DOI:	10.1017/s1431927618003525
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4d598265a5fd8f9c447794c2049b6e9a https://doi.org/10.1017/s1431927618003525 Zobrazit plný text záznamu