High-Density Patterning of InGaZnO by CH4: a Comparative Study of RIE and Pulsed Plasma ALE
| Autor: | Shreya Kundu, Stefan Decoster, Philippe Bezard, Ankit Nalin Mehta, Harold Dekkers, Frederic Lazzarino |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ACS Applied Materials & Interfaces. 14:34029-34039 |
| ISSN: | 1944-8252 1944-8244 |
| DOI: | 10.1021/acsami.2c07514 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|