Design and Implementation of Robust Resonant Controller for Piezoelectrically Driven Micro-Lens Actuator

Autor:	Hemanshu Pota, Daniel Ssu-Han Chen, Aron Michael, Syed Mamun R Rasid
Rok vydání:	2022
Předmět:	Mechanical Engineering Electrical and Electronic Engineering
Zdroj:	Journal of Microelectromechanical Systems. 31:840-850
ISSN:	1941-0158 1057-7157
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4d45b9986889728cde2a9c211c6c1c25 https://doi.org/10.1109/jmems.2022.3194219 Zobrazit plný text záznamu