Phase-Spectral Ellipsometry Method for Nondestructive Control of the Chemical Composition of thin Metal-Oxide Heterostructures

Autor:	D. N. Tyurin, V. A. Kotenev
Rok vydání:	2022
Předmět:	Applied Mathematics General Engineering Instrumentation Engineering (miscellaneous)
Zdroj:	Measurement Techniques. 65:608-613
ISSN:	1573-8906 0543-1972
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4cebd7a7920bb309410776220bb7a6e6 https://doi.org/10.1007/s11018-023-02128-6 Zobrazit plný text záznamu Full text from SpringerLink