Reliability of 60-nm scale CAAC-IGZO FET

Autor: R. Hodo, K. Sugaya, S. Yamazaki, H. Kimura, Y. Asami, M. Motoyoshi, D. Shimada, N. Kamata, M. Takahashi, T. Murakawa
Rok vydání: 2018
Předmět:
Zdroj: Extended Abstracts of the 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials.
DOI: 10.7567/ssdm.2018.ps-10-01
Databáze: OpenAIRE