Origin of trap assisted tunnelling in ammonia annealed SiC trench MOSFETs
Autor: | Judith Berens, Manesh V. Mistry, Dominic Waldhör, Alexander Shluger, Gregor Pobegen, Tibor Grasser |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Microelectronics Reliability. 139:114789 |
ISSN: | 0026-2714 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |