A Study of Ultrathin Superconducting Films of Niobium Nitride Obtained by Atomic Layer Deposition

Autor:	M. V. Shibalov, N. V. Porokhov, A. M. Mumlyakov, I. V. Trofimov, G. D. Dyud’bin, E. R. Timofeeva, A. M. Tagachenkov, Yu. V. Anufriev, E. V. Zenova, M. A. Tarkhov
Rok vydání:	2021
Předmět:	Physics and Astronomy (miscellaneous)
Zdroj:	Technical Physics. 66:658-663
ISSN:	1090-6525 1063-7842
DOI:	10.1134/s1063784221040174
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4abc513116f41d9cea068ec3eda07ae3 https://doi.org/10.1134/s1063784221040174 Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu PDF Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.