Polysilicon Interconnection Technology for IC Device
Autor: | H. Yamanaka, Toshio Wada, M. Sakamoto, O. Kudoh |
---|---|
Rok vydání: | 1979 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of The Electrochemical Society. 126:1415-1418 |
ISSN: | 1945-7111 0013-4651 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |