Transmission electron microscopy of Si3N4/SiO2 structures for local oxidation processes

Autor:	J Vanhellemont, C Claeys, J Van Landuyt, G Declerck, S Amelinckx, R Van Overstraeten
Rok vydání:	2020
DOI:	10.1201/9781003069614-75
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::492666985b592b925dee2f29fd9885bc https://doi.org/10.1201/9781003069614-75 Zobrazit plný text záznamu