Particularities of the Zn Diffusion into InGaAsP from Spin-On Polymer Films
Autor: | L.A. Busygina, N.M. Schmidt, I.A. Mokina, A. V. Merkulov, A. T. Gorelenok, Alex A. Kamanin, I. Yu. Yakimenko, T. A. Yurre, B. Ya. Ber |
---|---|
Rok vydání: | 1993 |
Předmět: | |
Zdroj: | Materials Science Forum. :1415-1420 |
ISSN: | 1662-9752 |
DOI: | 10.4028/www.scientific.net/msf.143-147.1415 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |