The Experimental Study on Lapping and Polishing of Metal Micro-Coil Based on Silicon Wafer

Autor:	B.D. Liu, J.L. Guan, D.SH. Li, H.Q. Li
Rok vydání:	2006
DOI:	10.4028/0-87849-986-5.422
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4872a969538d58a29f09ac881f76d4ee https://doi.org/10.4028/0-87849-986-5.422 Zobrazit plný text záznamu