基于光学三角法的芯片凸点高度测量
| Autor: | 王棚 WANG Peng, 孟繁昌 MENG Fanchang, 张滋黎 ZHANG Zili, 王德钊 WANG Dezhao, 王珊 WANG Shan, 姚恩涛 YAO Entao, 王磊 WANG Lei, 叶瑞乾 YE Ruiqian |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ACTA PHOTONICA SINICA. 51:0512001 |
| ISSN: | 1004-4213 |
| DOI: | 10.3788/gzxb20225105.0512001 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|