ChemInform Abstract: OXYNITRIDE DEPOSITION KINETICS IN A SILANE-CARBON DIOXIDE-AMMONIA-HYDROGEN SYSTEM

Autor:	R. L. Bratter, G. K. Ackermann, V. J. Lucarini, A. K. Gaind
Rok vydání:	1977
Předmět:	chemistry.chemical_compound Ammonia Chemical engineering Chemistry Carbon dioxide General Medicine Hydrogen system Silane Deposition kinetics
Zdroj:	Chemischer Informationsdienst. 8
ISSN:	0009-2975
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::47c93336a6ccc919d2fbcfeddfc9f1c8 https://doi.org/10.1002/chin.197730031 Zobrazit plný text záznamu Plný text