Surface profile sensor development
Autor: | Alexander Cherepanov, Mariia Popova, Yuri Bochkarev, Sergey Pesterev, Igor Tyshchenko |
---|---|
Rok vydání: | 2018 |
Předmět: | |
Zdroj: | AIP Conference Proceedings. |
ISSN: | 0094-243X |
DOI: | 10.1063/1.5055181 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |