Understanding and Utilizing Reactive Oxygen Reservoirs in Atomic Layer Deposition of Metal Oxides with Ozone
| Autor: | Joel R. Schneider, Camila de Paula, Nathaniel E. Richey, Jon G. Baker, Solomon T. Oyakhire, Stacey F. Bent |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Chemistry of Materials. 34:5584-5597 |
| ISSN: | 1520-5002 0897-4756 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|