OS1420-430 In-Situ SEM Tensile Testing of Sacrificial Oxidized Si Nanowires Using Electrostatic Actuated MEMS Device

Autor:	Shozo Inoue, Tatsuya Fujii, Ginnosuke Ina, Takahiro Namazu
Rok vydání:	2015
Předmět:	Microelectromechanical systems In situ Materials science Nanowire Composite material Tensile testing
Zdroj:	The Proceedings of the Materials and Mechanics Conference. 2015:OS1420-43
ISSN:	2424-2845
DOI:	10.1299/jsmemm.2015._os1420-43
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::45ebd05991d8bb1a961944fd137ed212 https://doi.org/10.1299/jsmemm.2015._os1420-43 Zobrazit plný text záznamu