Comparison of the structural properties of a-C:H films prepared by pulsed and continuous RF
| Autor: | Sarayut Tunmee, Ukit Rittihong, Wanwisa Butcharee, Artit Chingsungnoen |
|---|---|
| Rok vydání: | 2021 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | The Journal of Applied Science. 20:88-103 |
| ISSN: | 1513-7805 |
| DOI: | 10.14416/j.appsci.2021.01.007 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|