TEM studies of small geometry silicon MOSFETs

Autor:	S M Davidson, G R Booker, M C Roberts, K J Yallup
Rok vydání:	2020
Předmět:	Materials science Silicon chemistry business.industry chemistry.chemical_element Optoelectronics business
Zdroj:	Microscopy of Semiconducting Materials, 1983
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4583d359a6855a7f09c24aeaaa4f1e7a https://doi.org/10.1201/9781003069614-70 Zobrazit plný text záznamu