Investigation on particle assisted through-mask electrochemical etching of micro pit array
Autor: | Liqun Du, Mingxin Yu, Ke Zhai, Kunming Zheng, Haohao Cheng, Shuxuan Wang, Junshan Liu |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | The International Journal of Advanced Manufacturing Technology. 123:465-478 |
ISSN: | 1433-3015 0268-3768 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |