Monitoring the Optical Surface Purity of Components by an Ellipsometric Method

Autor: S. A. Filin, V. E. Rogalin, I. A. Kaplunov
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Journal of Applied Spectroscopy. 89:509-516
ISSN: 1573-8647
0021-9037
DOI: 10.1007/s10812-022-01388-4
Databáze: OpenAIRE
načítá se...