Monitoring the Optical Surface Purity of Components by an Ellipsometric Method
Autor: | S. A. Filin, V. E. Rogalin, I. A. Kaplunov |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Applied Spectroscopy. 89:509-516 |
ISSN: | 1573-8647 0021-9037 |
DOI: | 10.1007/s10812-022-01388-4 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |
načítá se...