Development of a Freezing Pin Chuck for Polishing (1st Report)

Autor: Nagahisa Ogasawara, Katsunori Takehana, Kenichiro Yoshitomi, Atsunobu Une, Masaaki Mochida
Rok vydání: 2014
Předmět:
Zdroj: Journal of the Japan Society for Precision Engineering. 80:950-955
ISSN: 1882-675X
0912-0289
DOI: 10.2493/jjspe.80.950
Databáze: OpenAIRE