Anisotropic Femtosecond Laser-Induced Modification of Phosphorus- and Boron-Doped Amorphous Silicon
Autor: | D. V. Shuleiko, S. V. Zabotnov, M. N. Martyshov, D. V. Amasev, D. E. Presnov, P. K. Kashkarov |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics. 86:S211-S215 |
ISSN: | 1934-9432 1062-8738 |
DOI: | 10.3103/s106287382270071x |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |
načítá se...