Anisotropic Femtosecond Laser-Induced Modification of Phosphorus- and Boron-Doped Amorphous Silicon

Autor: D. V. Shuleiko, S. V. Zabotnov, M. N. Martyshov, D. V. Amasev, D. E. Presnov, P. K. Kashkarov
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics. 86:S211-S215
ISSN: 1934-9432
1062-8738
DOI: 10.3103/s106287382270071x
Databáze: OpenAIRE
načítá se...